职位描述
量测工艺
1. 理解并掌握半导体工艺基础知识,了解各工艺过程对应的量测监控方法;
2. 理解并掌握至少一种量测应用;熟练掌握负责机型的量测原理,Recipe结构并编写Recipe SOP;
3. 具备基础的数据分析能力,并能运用Exensio等软件进行数据拉取,分析处理;
4. 能够根据SOP对产线abnormal lot进行处理并及时反馈;
5. 负责量测设备的MSA/Calibration以及QE ,并处理QE OCAP;
6. 量测设备的验收和matching;
7. 解决产品工艺优化过程中的量测需求和量测问题解决。
量测设备
1. 熟练掌握负责设备的工作原理与结构,针对各个module可能会发生的异常总结应对措施;
2. 理解并掌握负责设备性能,并制定对应的防范措施;
3. 能够熟练应对机台各种alarm,对于以前未发生过的异常,能够主导异常分析查出Root cause,提出改善方案;
4. 深入理解Parts 结构、功能、工作原理,以及可能导致的异常;
5. 熟练掌握大部分Parts 的更换、校准,并对更换过程中可能出现的问题点梳理;
6. 熟练掌握日常交接系统操作、FDC 、IUI、X-site、Control monitor、SPC、ETS 、RMS系统的使用;
7. 能够完成公司要求的各级安全训练,熟练使用各种安全器材,能够胜任相关区域的安全救灾工作。