职位描述
1. 负责负责ALE, Metal Etch 工艺开发以及后技术代可行性评估。
2. 在相关工艺模块中开发并改进工艺流程和配方,以满足产品结构、电气和可靠性要求。
3. 设计并管理实验设计(DOE)实验,以分析、提取、报告和得出结论,从而优化关键流程并确定后续行动。
4.与工艺集成、设备、YE、YAE 和制造部门互动,以解决工艺/技术差距以及良率/利润率方面的问题。
5. 提供先进的工艺技术,并明确路径以满足下一代产品节点的要求。
6. 评估常规离线、在线、WAT(晶圆接受测试)、SORT(分选测试)、可靠性以及后端数据,以支持多职能故障分析,从而了解缺陷的根本原因和故障模式,提高良率和可靠性。
7. 参与晶圆/批次和实验管理,处理工厂偏差,确保项目顺利执行
8. 与设备供应商合作开发新工艺和新工具,以满足技术发展的需求。
9. 评估新材料、新工具和新功能以降低整体工艺成本。