博士后（自律型纳米蚀刻方向）(J14811)

1. 负责自律型等离子体蚀刻控制前沿技术研究，开展等离子体内部参数精密测量、等离子体时空控制、实时控制反馈与自整定等方向的研究； 2. 主导自律型等离子体蚀刻反馈控制系统开发，实现等离子体诊断信号建模与闭环控制； 3. 搭建 AI 与等离子体工艺数据平台，开展与自由基密度相关联的工艺信息数据库建设、数据治理与 AI 训练数据集积累； 4. 与工艺、器件、量测、设备团队协同，将研究成果转化为量产应用； 5. 承担博士后科研课题，申报国家/省部级科研项目，输出高水平论文与知识产权，跟踪国际前沿技术动态。

1. 等离子体科学与技术、半导体工艺集成、物理电子学、微电子学与固体电子学、控制科学与工程、电磁场与微波技术等相关专业； 2. 具有蚀刻工艺开发或等离子体诊断相关研究经验； 3. 扎实的控制理论/算法基础，熟悉机器学习/深度学习基础与主流框架，具有结合工艺监测数据实施 AI 优化工艺参数的算法落地经验者优先； 4. 良好的编程与工程素养（Python/C++），具备大数据处理、数据库搭建与复杂控制系统集成调试能力； 5. 发表过高水平学术论文，具有强烈的科研兴趣和创新精神，治学严谨，具备良好的团队协作与沟通表达能力。